Чистое помещение — помещение, где в воздухе поддерживаются в определённом заданном диапазоне размер и число таких частиц, как пыль, микроорганизмы, аэрозольные частицы и химические пары на кубический метр. При необходимости в них также могут контролироваться и другие параметры, например, влажность и температура.
Основная характеристика чистых комнат — количество пылинок и других частиц, размером больше определенной величины (0,1; 0,3; 0,5 микрона и так далее), которые содержатся в объёме воздуха. Величина пылинок определяется в зависимости от применения помещения: в электронной промышленности при уменьшении микросхемы уменьшается и допустимая величина частиц. Общепризнанным в мире документом, устанавливающим требования к проектированию и строительству, материалам, оснащению, методам испытаний и аттестации чистых помещений, а также делящим чистые помещения на классы чистоты является серия стандартов ISO 14644, чистые помещения для микроэлектроники тут.
В отличии от чистых помещений для фармацевтики и медицины, для микроэлектроники особое значение имеет контроль микрочастиц в среде помещений, а не микроорганизмов, для борьбы с которыми используются дополнительно дезрастворы, бактерицидные лампы и т.д. Поэтому в чистых помещениях микроэлектроники чистота достигается преимущественно с помощью правильной компоновки помещений и подбора материалов и правильной работы системы воздухоподготовки.
Такие помещения как правило строятся и используются так, чтобы свести к минимуму поступление, генерацию и накопление частиц внутри помещения.
Для этого обычно используется несколько фильтров очистки (от более грубой до самой тонкой); фальшпол (чуть приподнятое покрытие с перфорацией); система, создающая избыточное давление в помещении для того, чтобы частицы прибивались к полу; инженерная инфраструктура, обслуживающая комнату (электрохозяйство, обеспечивающее комнату электропитанием; обеспечение водой; воздухоподготовка; шлюзы для перехода из зон с меньшим классом чистоты в более чистые зоны и т.д.), антистатические изделия и покрытия.
Сотрудник, входящий в помещение, также должен пройти специальную подготовку: сначала человек совершает так называемое «первое переодевание». Он меняет уличную обувь на чистую, надевает халат и головной убор.
